硅片清洗机操作说明

本文总览：

1、硅片清洗机使用注意事项以及应用范围有哪些？
2、帮我找些枚页式（平板式硅片）清洗机的资料(视频，文字，图片，图纸一概不限！)
3、硅片清洗剂a剂b剂作用区别

硅片清洗机使用注意事项以及应用范围有哪些？

切记在空槽的状况下不能开启清洗器，以免损坏机器。

2.放/换清洗液时必须关断电源。

3.除特殊定制机抗腐蚀机型外，禁止使用腐蚀性强和易燃的溶液作清洗液，以免腐蚀容器和发生危险。

4.清洗量以容积的1/2到2/3为佳。

5.机壳必须接地良好、可靠。

6.在正常情况下，清洗器连续工作一段时间后会自动升温，环境工作温度不得高于45℃。

7.严禁将沸水直接注入槽内，以防因骤冷骤热导致换能器脱落。(水温不得超过40℃)

8.保证机器干燥的使用环境。不能开启清洗器，以免损坏机器。

9.超声波清洗机在工作一个小时或3个小时，让机器休息半个小时或一个小时。

10.严禁导电液体（如水）进入通风口，否则会对超声波清洗机的线路系统造成严重损害。

11.注意保持超声波清洗机的清洁，不使用时关掉电源。（可用干抹布将机体擦干净）

12.避免对超声波清洗机的碰撞或剧烈震动、远离热源。

帮我找些枚页式（平板式硅片）清洗机的资料(视频，文字，图片，图纸一概不限！)

本文介绍新型高声强度高可靠超声波管道清洗机的组成与应用，并对作为超声波信号发生器的模块化高频大功率开关电源的设计方案作一分析。同时对高频大电流稳定性与可靠性监测用设备-新型高频大电流LED 数字面扳表的设计组成和工作原理及其特点作出分折。在石油、化工、冶金或制药某领域中的一个部门，其生产现场中会有大量的热交换器以及介质输送管，而金属管道内的除垢与防垢问题，一直是国内外众多产业部门多年来未能解决的难题。目前普遍采用的是化学药剂除垢、离子交换树脂防垢，高压水枪清洗等方法，但由于该类方法技术陈旧、因而成效不明显。近年来，虽然全也出现了用超声波清洗技术，但由于可靠性技术没有解决，故此类设备或装置不是故障维修率高就是寿命短实用性差，无法解决管道污垢的清洗问题。随着半导功率器件集成控制技术的发展，一种新型模块化的高声强度高可靠超声波管道清洗机已经闻世，正在各个领域被应用。为介绍此新型超声波管道清洗机，首先要对超声波除垢防垢机理作一说明。超声波管道清洗原理——“空化效应” 的产生超声波清洗机是通过超声波发生器将高于频率为20KHz的震荡信号进行电功率放大后经超声波换能器（震头）的逆压电效应转换成高频机械振动能量通过清洗液体中的声幅射，使清洗液体分子振动并产生无数微小空穴和气泡。并沿超声波传播方向在负压区形成、生长，并在正压区迅速闭合而产生上千个大气压的瞬间高压而爆破，形成无数微观高压冲击波作用于管道璧的成垢杂质并将此粉碎。此即称之谓超声波清洗中的“空化效应”。超声波管道清洗机就是基于“空化效应”的原理工作的。从“空化效应” 可知空穴和气泡是在液体中施加高频（超声频率）、高强度的声波而产生的.由此可知任何超声波管道清洗机的组成都必须具备二个基本部件：高频高压大功率电信号的超声波发生器、以及能将电能转化为机械能（即压电逆效能）并经液体流通过的管道式高声强换能器。高声强度超声波管道清洗机的组成与工作过程从图1(a)所示可以看出，高声强度超声波管道清洗机主要由高频高压大功率电信号的超声波发生器（或称信号源）、传输电缆、管道式高声强压电换能器组成，其换能器放置于管道内。图1(b)为高声强度超声波管道清洗机总体图，是由高频高压大功率开关电源和高声强压电换能器组成的高声强度超声波管道清洗机与模块式高频大电流监测表等三大块合成。

而高声强度超声波管道清洗机工作过程是这样：当液体围绕换能器流过，超声波发生器产生高频（22—25KHz）高压（100—120V）大功率1000W的电功率信号，经电缆传输到换能器，由换能器实现电、机、声的转换并发出超声波。而超声波管道清洗机除垢防垢的作用，主要是利用超声波高声强场“空化效应”处理介质而获得，成垢物质在强声场“空化效应”作用下，其物理和化学性能发生一系列变化，导致成垢物脱落，并在这一强大的压力峰分散成细粉末状，形成松散而不易板洁的沉积物，悬浮于液体介质中。理论和实践测算，对1cm3液体加以频率为20KHz，功率为50W/cm2的超声波时，可发生空化的气泡数为5×104/s，其局部增压峰值数百甚至上千大气压。其管道式压电换能器主要指标*静态电容为(25℃)3--100nf；*机械品质因素2-10；*绝缘电阻1000MΩ；*压电晶体耐压1200V；*谐振频率22-25KHz；*允许介质温度≤135℃ 实践证明，该换能器技术比较成熟其主要指标能得到保证，而要确保超声波管道清洗机性能的高可靠高声强其关键是高频高压大功率的超声波发生器。为什么这么说呢？问题的提出分立式高频高压大功率开关电源实用性差由于换能器需要的超声波发生器.均必须是高频高压大功率开关电源，虽然此类开关电源均是用单个集成电源控制芯片和MOSFET或IGBT大功率全桥式组成，但还是多个分立元器件的组合，连线间分布电容所形成的尖峰干扰时刻或特别在大负载开闭情况下会造成大功率管的信击穿或烧毁，故此类开关电源非但效率低，而且故障率高、难维护、寿命短、实用性差。为彻底改变此现状，最紧迫的是应用模块化的高频高压大功率开关电源。电力电子技术的发展给“高可靠” 提供了条件在电力电子技术中，开关电源占有重要地位，而现代电力电子技术的繁荣与开关电源（特别是高频开关电源）的发展紧密联系在一起，则高频化是现代电力电子技术焦点之一。但现代高频开关电源技术的进步得力于新理论、新技术、新器件、新材料的支持。其应用空间迅速扩展，除了计算机、电机变频控制、电悍、电镀、电感加热、超声波加工（清洗）等所用的变流设备在原有基础上升级换代外，荧光灯和新型电光源的镇流器，现代办公设备、通讯装置、运载工具、移动军事装置、航空、航天、航海装置等，都开始将注意力转向以高频变换为代表的现代电力电子技术，许多新的应用领域中其热点也陆续发展并选中高频开关电源(DC/AC)。面对这新的桃战和机遇，我们采用了日本联美兰达（NEMIC –LAMBDA）公司产的PF1000A-360型AC/DC功率变换模块和IPM-4M型全桥式DC/AC高频大功率变换模块并将其前后级相连又与高频大功率脉冲变压器T等一起组合而成新型模块式高频(22-25)KHZ 高压(100V-120V)大功率（1000W）开关电源，并作为信号源(或称发射机)与换能器匹配组合成高声高强度超声波管道清洗机。值此，应该对新型高频高压大功率开关电源设计方案作一分析介绍。模块式高频(22-25)KHZ高压(100V-120V)大功率（1000W）高频开关电源的设计方案技术要求* 输入电压：交流220v* 输出脉冲电压：幅值为100v-120v、频率f为(22-25)Khz±1%，其占空比D为0.4-0.5为可调。* 输出功率:为1000W* 输出高频大电流应采用LED数字显示(见图1(b))* 工作频率f应采用LED数字显示* 脉冲输出电压通过LC谐振电路应在超声波换能器二端获得高频(22-25)KHz高压的正弦波。该高频高压大功率开关电源设计电原理框图见图2所示，具体介绍分析如下: 从图2可看出该开关电源由前级IC1的PF1000A-360型AC/DC大功率变换模块和后级IC2的DC/AC IPM—4M 模块相连并与高频大功率脉冲变压器T等三大部分一起组合而成，即成为超声波管道清洗机的信号源. 具体介绍如下: 关于前级IC1为PF1000A-360型AC/DC变换模块模块PF1000A-360型AC-DC变换模块技术指标：其输入电压为交流170V—265V，而输出电压为直流360V；输出为直流电流2.8A-4.2A；输出功率为1008W-1512W；典型浪涌电流60A；最小功率因素为95%；输出电压精度为±2%；模块的特点: 可实现功率因素和谐波校正，效率高达95%以上。带有过压保护、过热保护和输入浪涌保护等保护电路。模块内部将功率电路和控制电路集合在一起，使用起来非常方便。 PF1000A-360型变换模块组成:由整流桥、升压电路、输出整流器、浪涌保护电路、输入电压取样和电流取样电路、热保护电路、输出电压取样和过压保护电路、辅助电源、正常工作监控电路和控制电路等部分组成。见图3所示。

* R1--外接浪涌限流电阻，用它可以限制电源刚接通时的浪涌电流，若不接，则模块不应正常工作，实际上R1(4.2Ω/2W)应与F3温度保险丝(250V 2A 130℃) 相串接而成(见图2所示)。 * 外形尺寸（长宽厚）为：146mm*86mm*125.mm* 模块使用时应按装在散热板上。关于后级IC2采用为IPM-4M全桥式DC/AC高频大功率变换模块该(DC/AC)IPM—4M 模块(见图4所示)，采用美国IR公司的功率器件和贴片工艺生产。用户可以简单方便地直接利用它或其组合设计制作、成各类高频大功率开关电源。*外形尺寸（长宽厚）为：115mm*66mm*23mm. * 模块使用时应按装在散热板上。模块内部结构概述：见图4所示* 辅助电源；由启动电源和内反馈电源组成，它要求电压在20-500V范围内能正常工作；* 电流型PWM及辅助保护电路；所谓电流型即在比较器的输入端直接用感应到的输出电流信号与误差放大器进行比较，来控制输出的峰值电流跟随误差电压变化。这种控制方式可以改善整个开关电源电压和电流的调整率，改善整个系统的瞬态响应。电流型PWM 还具有重选脉冲抑制电路，消除在一种输出里出现两个连续脉冲的可能性。这对于半桥电路或全桥电路组成的开关电源能否可靠工作是极为重要的。而一般电压型PWM在受干扰时，常出现一路输出里有两个连续重选脉冲，造成桥电路上下直通而烧毁功率管. 电流型PWM 可根据检测电路送来的电流信号实行逐个检测，信号大时逐个关断，超过极限时全保护关断（此时需关机启动，或延时3秒软启动）。* IC驱动电路：在半桥电路或全桥电路中高端和低端的驱动器是不供地的，一般采用脉冲变压器隔离。当频率在数Hz到数百KHz范围内变化时，普通的脉冲变压器是无法胜任的。IC驱动电路就不存在上述问题，它的固有死区能防止产生直通信号，它的图腾柱电路能吸收桥电路的“米勒效应”。*全桥DC-AC变换器：采用性能优良的MOSFET或IGBT，在公共接地点上伴有0.1Ω的电流取样电阻，它能感应到内部任一桥路或任一桥路的外部过流、短路，将检测信号送往保护辅助电路进行判断调整或极限保护。并有4×1500pf电容，输出串接1mH电感可成为零电压开通、关断的谐振电路(ZVS)。由于DC/AC模块应用领域很多，但大多数都使用到了高频变压器，现提供设计公式和例子。E=U1为变压器初级直流电压N1为初级匝数；E=U1为加在变压器初级的最高电压；f变压器的工作频率；S磁芯的有效面积；为系数(对正弦波—4.44)或4(对于矩形波--4)；模块式高频高压大功率开关电源的工作调试过程 1、合上进线交流电源220V后，当IC1的(AC/DC)PF-1000A-360型变换模块输出电压为直流360V并加于IPM-4M(DC/AC) 模块IC2的P1、P4引脚上时，则输出脉冲变压器(功率应大于1200W)T的初级二端P2与P3上(接自IPM-4M模块全桥型功率管对角线端)将并获得360V高频(22—25)KHz脉冲电压。 2、脉冲输出电压取决于大功率脉冲变压器T次级N2端不同的匝数，可获得的幅值为100v-120v的脉冲电压，见图2右上角所示。 3、输出电压工作频率f：为(22-25)Khz±1% 其占空比D为0.4-0.5为可调 4、IC2的P2、P3引脚上有脉冲波形输送，调整W3便可看到脉宽变化。 5、当K1、K2在断开位置，频率计显示模块标称频率22KHz。当合K1上时，减少W1阻值，频率将向高端变化。当K2合上时，增加W1阻值，频率将向低端变化。根据需要来决定使用参数。 6、调整W3，可改变稳定的输出电压的幅值。 7、调整W2，可改变输出电流输出值。这个功能不用时可悬空。 8、R0的阻值决定电流保护的动作值，每并接0.1Ω—0.2Ω大约可增加4A安的电流。9、输出高频大电流应可采用LED数字显示。 10、工作频率f应采用LED数字显示。 11、输出功率:为1000W大功率高压(100v-120v)高频(22-25 KHz)正弦波的实现当大功率脉冲变压器T次级N2输出的100v-120v的脉冲波电压加到LC谐振电路( 其L为可调高频电感线圈， C为超声波换能器的等效电容，由此则组成LC谐振器，见图2右上角虚线所示)，则在电容C(换能器)两端将获得谐振后的100V—120V高频(22-25 KHz)正弦波，见图2右上角所示。以上整个过程实现了从AC-DC再从DC-AC高频(22-25 KHz) 高压(100V—120V) 大功率(1000W) 的输出。高频大电流稳定性与可靠性的监测由于高声强超声波管道清洗机的换能器是应用电功率转换成高频机械振动的压电逆效应，为此作为信号源的功率保证与可靠至关重要，而信号源电功率的关键是高频(正弦波22-25 KHz)大电流的稳定高可靠。它也是高可靠高声强超声波管道清洗机正常、安全与长期运行的保证。据此，必须应对高频(正弦波22-25 KHz)大电流运行作监测。这也是近几年来伴随高频大功率开关电源应用空间日益扩大，人们对这些应用设备或系统负载性能的监测要求也越来越高，也就是说，迫切需要开发出对高频大功率负载电流进行稳定性可靠性监测的设备。因为这是一种关系到整个设备或系统能否安全长期运行的重要措施，那末如何对高频(正弦波22-25 KHz)大电流运行作监测? 值此对我们新开发的高频大功率开关电源的新型监测仪表---模块式高频大电流LED数字显示面板表(见图1(b)上部方框)的设计方案作一介绍。设计思想该产品的设计分二大部分组合而成。即作为前级的检测头再加上后级的LED数字显示面板(由A/D模数转换加上LED数字显示块)。按照以往的技术，前级检测头只能采用大电流互感器来检测大电流的变化，然而这不但体积大、功耗大、成本高、误差大，即便如此也只能适用于电流频率为0--1KHz范围以内，而面对高频(数KHz--数十KHz)的大电流(10A以上) 变化的检测，从技术到工艺均难以实现。因而必须采用当今新型的NHC模块型磁平衡霍尔电流传感器作为前级检测头。为什么呢? 只因它的特点是能应用霍尔效应对直流、工频、高频等各种波形的电流进行测量，并且是电隔的，其输出为电压信号。为此，与之相比，最大优越性是精度高、功耗小、重量轻、使用方便可靠。而后级LED数字显示面板采用美国MAXIM公司产的单芯片MAX139/140型就可组成。（见图5 IC1所示）。只有将上述的模块单与芯片的组合成模块式高频大电流LED数字显示面板表，才能符合可靠性好、体积小、精度高的最佳设计。其总电原理图如图一所示。组成与功能 NHC系列模块型磁平衡霍尔电流传感器IC1其内部电路。见图6所示。它是由三部分组成：* 集磁环和霍尔磁敏元件.* 差分运算放大器A.* 由VP1与VP2组成推挽功率放大输出及反馈补偿. 技术指标:*其测量电流范围为0--200A*电流频率可达50KHz*线性度(%FS)为小于±0.2*响应时间小于1μs *失调电压漂移为±20mv*电源电压为±12V. 功能分析对输入的高频电流进行检测的工作过程: 利用集磁环将通过初级线圈N1的被测高频电流I1产生的磁场收集后，作用于霍尔元件并产生电压信号Ui加到运算放大器A，经放大到后级由VP1与VP2组成的推挽功率放大，其输出的补偿电流Is流经补偿线圈N2。使补偿线圈N2产生的磁场Is N2与初级电流I1产生的磁场方向I1相反，因而补偿了初级磁场，其补偿过程实际上是在通过反复在平衡点附近反复振荡过程，最后在1μs形成动态平衡，使霍尔输出电压逐步减少，直到初次级(补偿) 磁场相等，使霍尔输出电压为零。这就是磁平衡检测的核心。由此，应用该模块磁电转换部分能在磁平衡状态下工作的特点，即N1I1(初级磁场)和N2Is(次级磁场)基本相等。使被检测的高频电流在电阻R上形成的电压输出Vr，并从模块脚3与4的输出，而Vr=Is·R. 通过公式推导出Vr 为: 经实际调试输出幅度Vr根据需要可从(0∽5.5v)任意调节。单芯片MAX139/140型LED数字显示面板：长期以来，LED数字显示面板是用ICL7107/7106型或(MC14433) 型 3位半A/D模数转换电路再加上显示驱动器及其LED显示块的方法来实现. 其缺点是外围电路多，集成度低。而今采用只需用单芯片MAX139/140就可组成LED数字显示面板。见图5 IC。其优点是:只需一块芯片，集成度高、外围元件少，更无需外围显示驱动器电路。因为，MAX139/140芯片除了本身是3位半A/D模数转换器外，芯片还含有显示驱动器和电荷泵倒相器，倒相器可使芯片在+2.5v-- +7v单电源电压下测量正、负输入电压。其芯片31脚与30脚为模拟信号输入，它来自HNC模块3与4脚的输出信号电压。通过MAX139/140 A/D转换结果为1000×(INHi-INL0)/(REFHi-REFL0)，最大值是±1999。MAX139/140可以作高质量基准电压源无须外接带基准二极管，用一只大于0.1μf基准电容能极大地减少带宽，最终消除噪声。芯片内含有内含驱动器，并通过引脚(2--19)与(22--25) 输出笔段驱动器，直接驱动显示块，显示出被测的电流为数字量。芯片20脚为极性输出端，30脚为模拟地，26、39、21脚为数字地。结束语实践证明该模块式高频高压大功率开关电源作为信号源(或称发射机)经与大功率超声波换能器配套反复使用和现场运行，其性能稳定可靠，彻底克服了以往用单个集成和分立式大功率管组合而成的开关电源那种经常被烧毁、击穿及故障率高、维修难等不足之处，经反复使用，该新型模块化的高声强度超声波管道清洗机实现了高效率高可靠免维护，是属新一代高声强度超声波管道清洗机。而新型模块式高频大电流数字面监测表在现场反复使用，对高声强超声波管防垢机设备所用的发射机--1500W高频大功率高频开关电源(输出电压为12V-150v)的高频负载电流(其频率为25KHz，波形似正弦波)的长期监测，运行性能可靠，精度符合技术指标。